近日,國家知識產權局公布了第二十三屆中國專利獎獲獎名單,其中士蘭微電子申報的“功率器件及其制造方法”(專利號:ZL201610941707.1)發(fā)明專利榮獲第二十三屆中國專利優(yōu)秀獎。
本次評選采用項目推薦方式,以高質量發(fā)展為導向,優(yōu)先推薦基礎研究、應用基礎研究、突破關鍵技術難題等方面形成的核心專利,貫徹《中國專利獎評獎辦法》和《國家知識產權局關于評選第二十三屆中國專利獎的通知》,鼓勵和表彰為技術創(chuàng)新和經濟社會發(fā)展作出突出貢獻的專利權人和發(fā)明人。
長期以來,士蘭微電子注重知識產權的保護和積累,截止2021年12月31日,已申請國內專利2100余項、國外專利30余項,2021年新增自主研發(fā)的專利近200余項。該專利公開的功率器件包括:半導體襯底;位于半導體襯底上的第一摻雜區(qū);位于第一摻雜區(qū)的第一區(qū)域中的多個第二摻雜區(qū);以及位于第一摻雜區(qū)的第二區(qū)域中的多個第三摻雜區(qū)。在不增加任何工藝復雜度和成本的基礎上,通過調整第一電荷補償結構和第二電荷補償結構中的P型摻雜區(qū)的摻雜濃度,兼顧提高功率器件的導通電阻和擊穿電壓的要求。
